樣品容量：全200mm晶片、150mm晶片、晶片碎片和短柱安裝樣品

CS4800提供高質(zhì)量的SEM成像、改進(jìn)的測量精度以及快速、自動(dòng)化的操作，旨在提高現(xiàn)有生產(chǎn)線的生產(chǎn)力和運(yùn)營效率，并提高客戶的過程控制能力

SEMVisionG2的檢測組裝和處理使微小和淺缺陷的高質(zhì)量地形圖像成為可能

Surfscan®SP2和SP2XP系統(tǒng)是KLA革命性的SurfscanSP1平臺(tái)的第二代產(chǎn)品，用于無圖案晶圓檢測

200kV相差校正TEM/STEM，平衡了空間分辨率和傾斜、分析性能通過單極片實(shí)現(xiàn)0.078nm的STEM空間分辨率和高樣品傾斜度、高立體角EDX

專用掃描透射顯微鏡HD-2700，配備了與德國CEOSGmbH公司(總經(jīng)理MaxHaider先生)共同開發(fā)的球差校正儀，顯著提高了掃描透射電子顯微鏡的性能，更適...

"RuliTEM"120kV透射電子顯微鏡系列

現(xiàn)有機(jī)型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合，衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regu...

一、設(shè)備用途：用于半導(dǎo)體樣品的形貌、結(jié)構(gòu)研究及樣品的元素分析

特征尺寸測量用掃描電子顯微鏡CD-SEMS-8840，適用于6英寸和8英寸晶圓的線寬測試

日立CD-SEM二手現(xiàn)貨掃描電鏡S-9220適用于8英寸晶圓的監(jiān)測，CD檢測范圍0.1~2.0μm，吞吐量45wph，放大倍數(shù)1000~300,000